宜特科技 | 二次離子質譜儀 (SIMS)
分析儀器 應用 偵測元素 偵測極限 取樣深度 SEM/EDS 1.Surface analysis 2.Micro analysis B~U 0.1~1 at% 1~5um AES 1.Surface analysis 2.Depth profile 1.Li~U 2.chemical binding 0.1~1 at% 0~7.5nm XPS binding 1.Surface analysis 2.Depth profile 1.Li~U 2 ......