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奈米通訊。第六卷第三期 1.積體電路分析量測技術的現況與未來發展

積體電路分析量測技術的現況與未來發展 潘扶民 國科會國家奈米實驗室研究員 引言 半導體積體電路工業產品迅速地邁入250 nm以下的製程技術時,對新材料與新製程的開發有著迫切的需求,依照美國半導體工業協會(SIA) 涆he International Technology ......

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