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兆冠科技股份有限公司-濕式製程蝕刻技術

1. 安全性設計:可符合SEMI-S2, 200認證要求,可確保操作人員之工作安全。 2. 化學槽體設計:可搭載預熱槽,進行換酸與加熱作業,如此可防止因等待換酸與加熱所造成的時間浪費。 3. 加熱與溫度控制:在製程槽體的設計上,採用上下循環設計此種加熱 ......

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