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360°科技:步進曝光機 - DIGITIMES

半導體步進曝光機(stepper)是目前半導體製程當中最前段也是最關鍵的製程,由於IC設計客戶必須將其設計圖(layout)進行曝光顯影,因此透過步進曝光機微顯影掃描設備的曝光照射在光罩(mask)上,而光罩變成為之後晶圓加工的參考...

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