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奈米表面分析簡介 - 材料世界網

裝EDS (Energy Dispersive x-ray Spectrometer)可具有成份分析之功能(如圖十所示);EDS 偵測X-ray訊號,由於X-ray穿透樣品表面出來,而沒有損失能量之深度較歐傑電子深(約 0.5-10µm),範圍也較廣,故成份影像(Mapping)之解析度一般在1µm左右,較歐傑 ......

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